Bằng cách sử dụng
Cảm biến nhạy cảm với áp suất và lực, Cảm biến vị trí, Cảm biến mức chất lỏng, Cảm biến tiêu thụ năng lượng, Cảm biến tốc độ, Cảm biến gia tốc, Cảm biến bức xạ, Cảm biến nhiệt.
Theo nguyên tắc
Cảm biến rung, cảm biến độ ẩm, cảm biến từ tính, cảm biến khí, cảm biến chân không, cảm biến sinh học, v.v.
Nhấn tín hiệu đầu ra
Cảm biến tương tự: Chuyển đổi đại lượng không dùng điện đo được thành tín hiệu điện tương tự.
Cảm biến kỹ thuật số: Chuyển đổi các đại lượng không dùng điện đo được thành tín hiệu đầu ra kỹ thuật số (cả trực tiếp và gián tiếp).
Cảm biến kỹ thuật số: Đầu ra (bao gồm chuyển đổi trực tiếp hoặc gián tiếp) chuyển đổi tín hiệu đo được thành tín hiệu tần số hoặc tín hiệu thời gian ngắn.
Chuyển đổi cảm biến: Khi tín hiệu đo đạt đến một ngưỡng nhất định, cảm biến sẽ đưa ra tín hiệu thấp hoặc cao tương ứng.
Theo quy trình sản xuất của nó
Cảm biến tích hợp được sản xuất bằng cách sử dụng các kỹ thuật xử lý tiêu chuẩn để sản xuất mạch tích hợp bán dẫn dựa trên silicon. Thông thường, một phần mạch điện được sử dụng để xử lý ban đầu tín hiệu được kiểm tra cũng được tích hợp trên cùng một con chip.
Cảm biến màng mỏng được hình thành bằng cách lắng đọng một màng mỏng vật liệu nhạy cảm tương ứng trên chất nền điện môi (chất nền). Trong trường hợp quy trình lai, một phần của mạch cũng có thể được chế tạo trên chất nền này.
Cảm biến màng dày được chế tạo bằng cách sử dụng hỗn hợp bùn của vật liệu tương ứng, phủ trên nền gốm, thường được làm từ Al2O3, sau đó xử lý nhiệt để tạo thành màng dày.
Cảm biến gốm được sản xuất bằng quy trình gốm tiêu chuẩn hoặc một số biến thể của chúng (sol, gel, v.v.).
Sau quá trình chuẩn bị thích hợp, các thành phần được tạo thành sẽ được thiêu kết ở nhiệt độ cao. Có nhiều đặc điểm chung giữa hai quy trình, cảm biến màng dày và cảm biến gốm, và ở một khía cạnh nào đó, quy trình màng dày có thể được coi là một biến thể của quy trình gốm.
Mỗi công nghệ xử lý đều có những ưu điểm và nhược điểm riêng. Do yêu cầu đầu tư vốn thấp cho nghiên cứu, phát triển và sản xuất cũng như độ ổn định cao của các thông số cảm biến nên cảm biến gốm và màng dày rất có ý nghĩa.
Theo mục đích đo lường
Cảm biến vật lý được tạo ra bằng cách tận dụng đặc tính mà một số tính chất vật lý của chất được đo đã thay đổi đáng kể.
Cảm biến hóa học được làm từ các thành phần nhạy cảm có thể chuyển đổi lượng hóa chất như thành phần và nồng độ của chất hóa học thành lượng điện.
Cảm biến sinh học là cảm biến sử dụng các đặc tính của các sinh vật hoặc chất sinh học khác nhau để phát hiện và xác định các thành phần hóa học của sinh vật sống.
Theo thành phần của nó
Cảm biến cơ bản: Đây là đầu dò đơn cơ bản nhất.
Cảm biến kết hợp: Một cảm biến bao gồm sự kết hợp của các bộ chuyển đổi riêng lẻ khác nhau.
Cảm biến hướng ứng dụng: Cảm biến bao gồm một cảm biến cơ bản hoặc một cảm biến kết hợp kết hợp với các cơ chế khác.
Bằng hình thức hoạt động
Theo hình thức hoạt động, nó có thể được chia thành các cảm biến chủ động và thụ động.
Cảm biến hoạt động có loại vai trò và loại phản ứng, loại cảm biến này có thể gửi tín hiệu phát hiện nhất định đến đối tượng đo, có thể phát hiện sự thay đổi của tín hiệu phát hiện trong đối tượng đo hoặc tạo thành tín hiệu bằng tín hiệu phát hiện trong đối tượng đo. Chế độ phát hiện sự thay đổi của tín hiệu được gọi là loại hành động và chế độ phát hiện phản hồi và hình thành tín hiệu được gọi là loại phản ứng. Máy dò dải tần số vô tuyến và radar là những ví dụ về loại hành động, trong khi các thiết bị phân tích hiệu ứng quang âm và máy phân tích laser là những ví dụ về loại phản ứng.
Cảm biến thụ động chỉ nhận tín hiệu do chính đối tượng đo tạo ra, chẳng hạn như nhiệt kế bức xạ hồng ngoại, thiết bị camera hồng ngoại, v.v.