Điện trở
Cảm biến điện trở là thiết bị chuyển đổi các đại lượng vật lý đo được như độ dịch chuyển, biến dạng, lực, gia tốc, độ ẩm, nhiệt độ, v.v. thành giá trị điện trở. Chủ yếu có máy đo biến dạng điện trở, loại áp điện, điện trở nhiệt, nhiệt, nhạy cảm với khí, nhạy cảm với độ ẩm và các thiết bị cảm biến điện trở khác.
Máy đo biến dạng điện trở
Máy đo biến dạng điện trở trong cảm biến có tác dụng biến dạng kim loại, tức là dưới tác dụng của ngoại lực xảy ra biến dạng cơ học nên giá trị điện trở thay đổi tương ứng. Có hai loại máy đo biến dạng điện trở chính: kim loại và chất bán dẫn, và máy đo biến dạng kim loại được chia thành loại dây, loại giấy bạc và loại màng mỏng. Máy đo biến dạng bán dẫn có ưu điểm là độ nhạy cao (thường gấp hàng chục lần so với loại dây và lá) và hiệu ứng ngang nhỏ.
áp điện trở
Cảm biến áp điện là thiết bị được chế tạo bằng điện trở khuếch tán trên nền vật liệu bán dẫn theo hiệu ứng áp điện của vật liệu bán dẫn. Chất nền có thể được sử dụng trực tiếp như một phần tử cảm biến đo lường và điện trở khuếch tán được kết nối với chất nền dưới dạng cầu. Khi chất nền bị biến dạng bởi ngoại lực, các giá trị điện trở sẽ thay đổi và cầu sẽ tạo ra đầu ra không cân bằng tương ứng.
Vật liệu nền (hoặc màng ngăn) được sử dụng làm cảm biến áp điện chủ yếu là tấm silicon và tấm wafer germanium, và cảm biến áp điện silicon làm bằng tấm silicon là vật liệu nhạy cảm ngày càng thu hút nhiều sự chú ý, đặc biệt là đối với cảm biến áp điện trạng thái rắn đo áp suất và vận tốc.
RTD
Đo nhiệt độ điện trở dựa trên thực tế là điện trở của dây dẫn kim loại tăng khi nhiệt độ tăng. Khả năng chịu nhiệt chủ yếu được làm bằng vật liệu kim loại nguyên chất, trong đó bạch kim và đồng được sử dụng rộng rãi nhất và các vật liệu như niken, mangan và rhodium đã bắt đầu được sử dụng để tạo ra điện trở nhiệt.
Cảm biến RTD đo nhiệt độ và các thông số liên quan đến nhiệt độ bằng cách sử dụng thực tế là giá trị điện trở thay đổi theo nhiệt độ. Cảm biến này phù hợp hơn cho những trường hợp cần độ chính xác phát hiện nhiệt độ. Các vật liệu RTD rộng rãi hơn là bạch kim, đồng, niken, v.v., có đặc tính là hệ số điện trở nhiệt độ lớn, tuyến tính tốt, hiệu suất ổn định, phạm vi nhiệt độ rộng và xử lý dễ dàng. Nó được sử dụng để đo nhiệt độ trong khoảng -200 độ ~+500 độ .